赤澤 正道

研究レイヤ

  • プロセス
  • デバイス

研究キーワード

  • 窒化物半導体デバイス作製プロセス
  • 窒化物半導体表面・界面制御
  • 窒化物半導体プロセス欠陥制御
  • MOS構造
赤澤 正道
TOP